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    EMS1050 低温灰化仪

    应用领域:

    l  生物芯片领域

    l  医用材料、光学材料研究

    l  电子半导体领域

    l  高分子材料研究

    l  电化学、高端零部件处理

    l  有机材料的灰化、刻蚀

     

     

     

    仪器性能:

    l  自动调频高频发生器

    l  内置旋转真空泵

    l  此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀

    l  低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)

    l  真空监测.

    l  双重气流针阀控制

    l  精确时间定时

    l  微处理器程序设置

    l  LCD状态数字显示

    l  腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便

    l  聚碳酸脂安全防护  

     

    技术参数:

    体积

    450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

    工作腔室

    派热克斯玻璃 160mm(L)x110mm(Dia.)

    (硼硅酸盐玻璃为标准配置)

    重量

    25Kg

    等离子体输出

    最大150w13.56 MHz

     

     

    真空度

    >ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.

    时间控制

    最长可设置99小时59分钟

    双重气流控制

    双重针阀气流控制,可选1种或2种气体(校准 5-100cm3/min air at A.T.P)

    电源

    230 V 50Hz (3 amp Max)

     

    订购信息:

    货号

    产品名称

    规格

    93000

    EMS 1050 低温灰化仪

    91005-F

    Rotary Vacuum Pump (Fomblin)

     

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